Yarı iletken endüstrisindeki temiz odalar için gereksinimler

Yarı iletken endüstrisindeki temiz odalar için gereksinimler şunlardır:
1. Yüksek temizlik gereksinimleri
Yarı iletken üretimi çok sıkı bir temiz ortam gerektirir. Temiz odalardaki hava temizliği, farklı yarı iletken süreçlerinin gereksinimlerine bağlı olarak değişir ve genellikle Sınıf 1 (kübik fitte 1 veya daha az 0,1 mikron partikül) ila Sınıf 100 (kübik fitte 100 veya daha az 0,5 mikron partikül) standartlarını karşılar.
2. Hassas sıcaklık ve nem kontrolü
Yarı iletken malzemeler sıcaklık ve neme karşı oldukça duyarlıdır. Temiz oda, 20-25 °C'de sıkı bir şekilde kontrol edilmeli, %40-60 bağıl nem aralığında olmalı ve dalgalanmalar ± 1 °C ve ± %5 RH'yi geçmemelidir.
3. Güvenilir ve istikrarlı güç kaynağı ve dağıtımı
Temiz oda, proses ekipmanlarının normal ve kesintisiz çalışmasını sağlamak için istikrarlı ve yedekli güç kaynağı sağlamak üzere özel bir güç kaynağı ve dağıtım sistemi gerektirir. Aynı zamanda, güç girişimini önlemek için koruma ve filtreleme işlevlerine sahip olmak gerekir.
4. Tozsuz havanın makul akışı
Temiz odaların, makul hava akışı dağılımını ve ölü köşe olmamasını sağlamak için tozsuz hava filtrasyon ve sirkülasyon sistemleriyle donatılması gerekir, böylece temiz hava her köşeye tam olarak ulaşabilir. Hava akış hızı ve hava basıncı da dış havanın geri akışını veya rahatsız etmesini önlemek için sıkı bir şekilde kontrol edilmelidir.
5. Eksiksiz sismik tasarım
Yarı iletken süreçlerin kararlılık gereksinimleri göz önüne alındığında, temiz odaların genellikle proses üzerindeki dış titreşimlerin etkisini azaltmak için şok dirençli önlemler alması gerekir. Temel yeterince sağlam olmalı ve tamponlama cihazlarıyla donatılmalıdır.
6. Malzeme seçimi tozsuz ve kirlilik içermez
Temiz odanın yüzey malzemesi tozsuz ve kirlilik içermemeli ve partikül üretmemelidir. Paslanmaz çelik, alüminyum levhalar, temperli cam ve diğer malzemeler yaygın olarak kullanılır. Tozun girmesini önlemek için girişte bir hava perdesi takılması gerekir.